簡要描述:AC200衍生機(顯影)全新外觀設計,大氣,適配實驗室實驗操作,先進的設計理念,模塊化設計。
詳細介紹
品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 國產 |
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應用領域 | 化工,石油 |
AC200衍生機(顯影)介紹:
新外觀衍生機尺寸:680*550*450mm(三種機型尺寸一致)
包裝用木箱包裝
轉速范圍:20-10000rpm
加速度可調范圍20-50000rpm/s
單步時長:3000s
時間分辨率:0.1s
可編輯100組100步程序,更多可擴展
AC200衍生機(顯影)大體說明可參照樣本上的寫,配件可以放一些標準載物盤,真空泵的圖片
自動滴膠:
適用基片尺寸:小于1cm小碎片及到8寸標準晶圓,非標準基片可定制載物盤
自動顯影:
適用基片尺寸:4/6/8寸標準晶圓,非標準基片可定制載物盤
顯影噴嘴距離基片高度可調,可調范圍10-50mm
自動去邊:
適用基片尺寸:4/6/8寸標準晶圓
去邊精度:去除晶圓邊緣3±0.5mm
三個基本功能可添加背洗功能(供客戶選擇)
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